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在高温下都能保证极低的挥发率,可以有效避免对芯片和圆晶的二次污染。
是一种高温长寿命润滑脂,由特殊氟类基础油、PTFE稠化剂及精选添加剂调配而成。该产品具有最高达260℃的工作温度和极长的工作寿命,蒸发率极低,并能抗大部分化学物质和活性介质(如酸、碱、有机溶剂等)的侵蚀。适用于无尘室、离子蚀刻、太阳能光电板蚀刻线等。